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气浮平台之系列双轴超精密气浮运动平台


由于科学研究及加工制造业飞速发展,对应的生产加工检测仪器的性能相对应提升,佛山市银美精工科技有限公司在运动控制系统上拥有丰富的生产制造工作经验,推出了一款大行程的系列产品两轴超精密气浮健身运动气浮平台,用以半导体材料膜厚检验,与此同时胶厚精确测量、激光切割加工、封装形式检验以及其它高端装备制造。气浮平台特性:气浮平台高稳定性全闭试气浮结构气浮平台天然大理石气浮滑轨、弯曲刚度大、低磨擦直驱直线电机驱动龙们结构,大理石平板弯曲刚度大稳定性好精度等级±0.25um,重复精度±0.1um速率稳定性0.01%@200mm/s速率可以达到1m/s,加速度可以达到1g根据自己的需求可定制定制化设计CUSTOMDESIGNING佛山市银美精工科技有限公司生产制造大行程两轴气浮健身运动气浮平台用以半导体材料膜厚检验,气浮非接触结构早已证明高精密运用里的理想选择。这类结构可以接受定制大行程,提升多轴,提高工作

由于科学研究及加工制造业飞速发展,对应的生产加工检测仪器的性能相对应提升,佛山市银美精工科技有限公司在运动控制系统上拥有丰富的生产制造工作经验,推出了一款大行程的系列产品两轴超精密气浮健身运动气浮平台,用以半导体材料膜厚检验,与此同时胶厚精确测量、激光切割加工、封装形式检验以及其它高端装备制造。

气浮平台特性:

气浮平台高稳定性全闭试气浮结构

气浮平台天然大理石气浮滑轨、弯曲刚度大、低磨擦直驱直线电机驱动龙们结构,大理石平板弯曲刚度大稳定性好精度等级±0.25um,重复精度±0.1um速率稳定性0.01%@200mm/s速率可以达到1m/s,加速度可以达到1g根据自己的需求可定制定制化设计CUSTOMDESIGNING

佛山市银美精工科技有限公司生产制造大行程两轴气浮健身运动气浮平台用以半导体材料膜厚检验,气浮非接触结构早已证明高精密运用里的理想选择。这类结构可以接受定制大行程,提升多轴,提高工作效率。

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气浮平台底轴Y轴用以轴体调节步进电机,轴体横距10nm,气浮结构确保了高平行度,上轴X轴配备测试仪器,高平整度指标值确保了更理想的激光切割平行线,在200mm/s时速率稳定性0.01%,与此同时可以实现高瞬态响应和快速部位整定值。各轴行程可定制。

天然大理石龙们结构设计方案,刚度好,稳定性高。天然大理石底座上能增加好几个Y轴,龙门架X轴行程可定制,提高工作效率。

气浮平台用心提升管道弯曲半径,避免姿势环节中电缆线的拉申影响到了气浮平台性能,应用高质量电缆线,以保证没有问题实际操作,降低关机时间。同时使产品外观更干净整洁,营造良好的施工环境。

全 套机器设备能够提供焊件基座,花岗石底座或主动被动隔振台等。

气浮平台注:

1.气体供货需清理,干躁至0°F漏点,尘土颗粒物过虑≤0.25um或纯净度99.99%N2。

2.之上精密度检测的检测位置是设备工作台核心之上25mm处,检测工作温度20±1℃,环境湿度40%-60%RH.

佛山市银美精工科技有限公司要在我国大力推广高端制造,鼓励发展自主品牌的背景之下,由多年从事高精密运动气浮平台研发和生产的专业人员共同组建创立。精英团队具有多年关键部件研发经验,拥有多种高档主要用途工作经验,完善的商品应用案例。经过长期高精密运动气浮平台的技术储备和沉积,已形成了一整套完善的高精密运动气浮平台系统的研发和生产系统。尤其在气浮理论分析、试验仿真分析、结构可靠性设计、高精密集成化拼装和测试等层面具有雄厚的实力。


关键词: 气浮平台